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應材最新電子束量測系統可提升高數值孔徑EUV製程的控制與良率

但隨著EUV、特別是High-NA EUV的光阻愈來愈薄，量測半導體元件特徵的關鍵尺寸變得愈來愈具挑戰性。為了捕捉高解析度影像，提供準確、次奈米級的量測，CD ...

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