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奈米技術計量標準計畫（5/6）

... 半導體關鍵尺寸的量測應用」。 吳文立博士，負責Intel 與NIST 的計量研究合作計畫 ... (1) AFM 量測CD 線寬量測技術，建置雙傾斜式之雙向掃描技術，再以縫補技術補償誤.

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