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臨界尺寸量測方法最佳化之研究 - 國立交通大學

臨界尺寸(Critical Dimension, CD)量測的重要理由是為了確認晶圓製造. 故過程中，所有的線寬皆已精準控制。半導體製程中通常以掃瞄式電子顯. 微鏡(Scanning Electron ...

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