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檢測10奈米以下半導體CD-SEM量測技術邁大步 - 新電子

鰭式場效電晶體(FinFET)與3D儲存型快閃記憶體(NAND Flash)設計，讓需要量測與控制的參數持續增加，進一步提高圖案製作與量測的複雜性。 技術新突破CD-SEM ...

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