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台積電也得靠它，關鍵萊利公式扮演半導體製程微縮重要基礎...

半導體 臨界尺寸- ASML指出，萊利公式為CD=k1x(λ/NA)，描述了重要參數間的對應關係 ... 本篇文章將帶你了解: 了解半導體製程中奈米究竟是什麼意思，指的是哪部分的尺寸 ...

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