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美商科林研發(Lam Research)於乾蝕刻設備之關鍵技術與市場 ...

於半導體製造中，主要可分為鍍膜、微影、蝕刻、離子佈植、氧化擴散等製程， ... 乾蝕刻主要與微影製程搭配，先透過微影技術定義光阻位置與結構， ...

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