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義守大學工業工程與管理學系

其能夠定義的關鍵尺寸(CD，Critical Dimension)也越小，但是增加透鏡半徑使NA 變大， ... 本研究起因是某半導體廠某產品於晶圓測試區發現良率偏低，並與其他廠比.

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