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微影技術,光罩,曝光機,Critical Dimension,G-line,I-line,KrF,ArF ...

在以往的半導體微米或次微米世代中，一直都是線路圖形的CD比曝光機光源的波長λ還要 ... 假如我們不放任何擋片來定義光源的形狀，那麼各種方向的光線都會打到光罩上， ...

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