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美國KLA獨霸半導體檢測設備市場，國產替代的最大阻力如何搬？

1）量測類設備：主要用來測量透明薄膜厚度、不透明薄膜厚度、膜應力、摻雜濃度、關鍵尺寸、套准精度等指標，對應的設備分為橢偏儀、四探針、原子力顯微鏡、CD-SEM、OCD ...

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