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關鍵尺寸_百度百科

關鍵尺寸(Critical Dimension，簡稱CD)是指在集成電路光掩模製造及光刻工藝中為評估 ... 自半導體製造業開始以來，器件的CD一直在縮小，從20世紀50年代初期以大約125μm ...

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