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半導體cd值
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半導體產業不可或缺的曝光機,是「這些企業」的心血結晶!
按照ASML 的說法,其物理極限值是0.25 。 λ 則代表曝光機使用光源的波長;NA 則是光學器件的數值孔徑,描述了它們能夠收集光的角度範圍; CD ...
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