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VeritySEM® 5i 量測

應用材料公司VeritySEM 產品系列最新VeritySEM 5i CD-SEM 系統具備獨一無二的內嵌三維功能，可為1x 奈米節點及以上的邏輯和記憶體元件進行大容量量測。

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