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TW201518871A - 用於半導體目標之量測的微分方法及裝置

替代性地，柏桑圖可繪製曝光相對於用於改變CD值之焦點，例如，該等CD值係經繪製為輪廓線，其中曝光表示圖表之Y軸且焦點位置表示該圖表之X軸，如圖2中所展示。

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