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半導體 Track
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https://patents.google.com/patent/CN104979238B/zh
一种track机台匀胶单元的防回溅与防粘附型工艺腔体
TRACK 是半导体制造领域中光刻工艺的核心设备之一,内部的匀胶单元是其重要的功能单元。在匀胶单元内,工艺腔体(又称CUP)是核心部件,直接影响匀胶工艺的效果。
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