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自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK)-注意事項

二、 使用track 前請先確認wafer 是否有下列情況：. 1. wafer 有缺角或裂痕。 2. wafer 表面若為金屬膜，檢查此金屬膜是否附著不良。(高速旋轉會使附著不良之金屬.

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