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元智大學加速半導體製程綠色化- 投資理財- 工商時報

... 清潔製程，可取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用，實踐半導體製程綠色 ... 膜水電解技術，獲科研創業萌芽補助590萬，加速半導體綠色化與發展。

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