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半導體製程良率提升專家系統之量化模式評估與分析

專家系統使用可靠度的理論及機率統計的觀念，利用故障樹的邏輯關係，將半導體製程中的各項機制，結合成以晶圓允收測試異常為頂端事件的故障樹，藉由失效模式與效應分析 ...

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