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先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣

顧逸霞表示，高效能的晶片，須透過精準的半導體積體電路製程產出，但由於積體電路製程線寬愈做愈小，從65奈米製程演進到45奈米、32奈米、22奈米……，精準度的要求會隨製程線 ...

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