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皮秒雷射應用在三維晶片矽導孔及Low-k晶圓切割研究

... 等，使得雷射矽導孔實現度大幅增加，期望對半導體產業界未來在3D IC製程有所幫助。 另外也做了45 nm製程Low-K晶圓試片的切割優化實驗，針對Low-K晶圓試片先以雷射 ...

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