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光電半導體主動元件與被動元件的製程技術

本文將介紹. 光電半導體主動及被動元件的核心製造技術，包含了薄膜沈積、黃光微影製程、乾濕蝕刻製. 程、光柵製作和積體化技術等。本文中對這些技術的描述是以製造應用於光 ...

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