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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 能源資訊平台

在所有演講中，微影(lithography)作為半導體製造中定義電路圖像的關鍵製程，始終 ... 爾後隨製程線寬不斷微縮，光源波長也從i-line(365 nm 波長)到利用惰性氣體和鹵素 ...

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