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193nm波長光刻機如何刻出28nm線寬晶片？ - 電子技術設計

在中國知乎上有一個問題，「晶片產業中的光刻機是怎麼雕刻出遠遠小於自己波長線寬？」這個問題很有意思。 半導體製程1年一變，學生在學校看到的教材， ...

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