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北美智權報第93期：相位移光罩技術與半導體微影製程

因此，微影製程技術(Lithography)在半導體製程上的定義，是指以各種 ... 度和更高的對比度，吾人即能藉以製作更微小的線寬特徵尺寸電晶體於晶圓上。

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