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奈米技術計量標準計畫（1/6）

的角色，隨半導體線寬的縮減及各類電子元件的微型化，薄膜機械性質在元件設計中 ... 圖1-9 藉由不同的物理特性，定義幾種不同的等效粒徑來量測微粒粒徑.

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