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矽奈米線場效電晶體之研究

本論文研究利用已經發展成熟的矽半導體製程技術，與熱氧化應力限. 制原理（Stress Limited Oxidation），設計 ... 本研究之矽奈米線場效電晶體，其奈米線定義範圍為直.

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