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半導體 線寬 定義
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潔淨室晶圓表面之無機性/有機性氣體吸附沈積行為之探討
隨著半導體元件線寬不斷縮小化,集積度不斷提升,有機/無機性微污染對半導體良率的影. 響越趨於顯著。 ... 算來比較,其定義為污染物通過(或沈積)於晶圓.
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