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半導體 線寬 定義
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產業脈動|半導體製程重中之重- 微影技術的突破與創新
半導體 晶圓製造的成本架構中,微影製程占了三成以上,其中EUV曝光機 ... 除了使用EUV可以製作較微細的線寬之外,過去採用ArFi曝光機,要經過重覆曝光 ...
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