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用於減低微影製程後線寬粗糙度之電漿方法 - Google Patents

本發明係關於有機基板(特定言之，半導體基板)之微影製程。 ... 線寬之此變動藉由所謂的「線寬粗糙度」值(LWR)來表達，最常定義為沿著一線之數個位置上之理論CD與所量 ...

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