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微機電量測與SOC晶片測試 - 國研院台灣半導體研究中心

微機電量測系統擁有一系列完整量測機台，包括：. 白光干涉儀(White Light Interferometer); 平面振動分析儀(In-Plane Vibration Analyzer); 雷射都卜勒( ...

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