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第一章四點探針電阻量測

三、金屬薄膜之片電阻量測. 四、半導體晶片之電阻係數量測. 五、半導體擴散層之片電阻量測. 本章共分為四節，第一節介紹四點量測的原理以及影響電阻量測的幾種因.

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