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電子束檢測- 维基百科，自由的百科全书

電子束檢測（Electrons Beam inspection，簡稱E-beam inspection、EBI），用於半導體元件的 ... 檢測原理编辑. 其檢測方式，是利用電子束掃描待測元件，得到二次電子 ...

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