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智能光學晶圓/晶片表面瑕疵與高度檢測設備

針對半導體晶圓於製程中所產生的缺陷提供精準光學檢測分析，利用自動對焦之顯微鏡模組搭配XYZ三軸位移平台（整合光學尺）進行飛拍，擷取晶圓／晶片表面影像。

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