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產品資訊

所謂光罩檢測，是為了確保半導體設備的製造材料「光罩」有無確實製造的工程。在半導體晶圓的生產中，光罩檢查裝置是微影製程前檢查光罩缺陷的設備。隨著光罩微距(CD) ...

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