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理學院110 學年度第二學期模組化課程

本課程介紹先進微影技術原理與實作，搭配先進製程機器，並強化半導體製造相關技術。介. 紹一般半導體製程 ... 10:30-12:00 反應式離子蝕刻機、奈米深蝕刻系統機台教學.

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