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化學氣相沉積維基百科，自由的百科全書- chamber 半導體

真空計的功能為何? 答：偵測chamber的壓力,確保wafer在定的壓力下之robot 功用為何? 答：將wafer傳進chamber與傳出chamber之用. 半導體與封裝專業英語常用術語.

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