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chamber 半導體- 半导体常用术语知乎知乎专栏 - 4Rfw

这款机台的设计理念也比较特殊，个Chamber内可以放置两片Wafer，但这放置两片wafer的区域仅有底部的排气共享台分子泵，这里不做过多的介绍，以后有机会单独写篇机台 ...

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