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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：利用IPA(異丙醇)和水共溶原理將晶圓表面的水份去除. 測Particle時,使用何種測量儀器? 答：TencorSurfscan. 測蝕刻速率時,使用何者量測儀器?

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