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透明導電薄膜簡介 - 台灣儀器科技研究中心

料，因此本身必須具備高可見光穿透率、低電阻率、良好表面粗糙度、化學穩定性質和高蝕. 刻速率等重要性質。隨著半導體技術的快速發展以及薄膜技術的逐漸成熟，使得 ...

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