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AZO透明導電膜及其特性研究.pdf

化物等的絕緣體或半導體雜相，則電阻率將升高好幾個數量級[?]。 由上述可知金屬透明導電膜不易製備。 關於金屬氧化物半導體 ... 計算AZO 膜晶粒大小的公式是[27 , 28]:.

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