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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 - 國立成功大學 ...

在氮氣流量為2sccm 時，Zr-Al-N 薄膜有最低之電阻率為459.55µ Ω-cm。 ... 外乎包含了半導體為主的主動性元件及由 ... Fig.6，利用計算溫度電阻係數的公式代入：.

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