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金属化（五） « 技术资讯 - 射频君的原创及分享哦

铜的电镀已成为印制电路板（PCB）主流工艺几十年了（参见下图）。将晶圆悬在含硫酸铜池中，并和 ... 在半导体工艺中，有几步使用化学机械工艺(CMP)。

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