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成功大學電子學位論文服務

除了探討銅電鍍添加劑的化學機制外，在本文中還利用電化學阻抗特性探討銅電鍍膜在化學機械研磨後銅腐蝕的現象。在下一世代的半導體製程技術中，極低介電常數材料(介電常數 ...

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