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準分子雷射退火技術開發低成本 - 台灣儀器科技研究中心

本文將介紹以準分子雷射對硫化鎘(CdS) 光導體元件進行表面改質之技術，利用此種快速、高 ... 隨著半導體製程之發 ... 化，分析與判斷各種雷射退火條件對於硫化鎘元件.

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