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雷射退火 - 中文百科知識

雷射退火 所謂的“低溫”多晶矽，是指整個TFT...形成多晶矽薄膜，便須要利用雷射退火的製程。在這個步驟中使用雷射的波長，要... 元件結構和製程 柵極與半導體層的位置 ...

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