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半導體雷射退火
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快速退火:介紹,脈衝雷射退火,電子束退火,工藝 - 中文百科全書
主要是利用高能量密度的雷射束輻照退火材料表面,從而引起被照區域的溫度突然升高,達到退火效果。具體退火情況,與雷射束的能量密度、材料的吸收係數、熱傳導係數、反射 ...
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