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用於製造氮化鎵基半導體垂直結構元件的雷射剝離方法

一種用於製造氮化鎵基半導體垂直結構元件的雷射剝離方法，包含：(a)製備一試片單元： ... 結構元件上，可以省略後續微影、蝕刻等步驟，故確實簡化製程步驟並節省時間。

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