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CN2571034Y - 半导体雷射元件结构

这种雷射也只能维持单模动作到五倍的临界电流，同时在制造上要控制蚀刻深度在50奈米(0.05微米)，也不是一件容易的制程。本发明人先前也制造出一种面射型雷射具有一个上层被 ...

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