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設備資源 - 逢甲大學-電子工程學系

為非接觸式即時測量導電薄膜片電阻的設備，使用非接觸式渦電流(Eddy Current)檢測技術，可對半導體製程之導電薄膜層進行片電阻量測，特別針對不可接觸量測之薄型導電 ...

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