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TWI435233B - 半導體製程設備之異常預知管控裝置與方法

究其原因發現是由於傳統業的設備多為定速轉動機械，轉速穩定表示振動頻率穩定，不同機台或不同量測時間所量測之資料可輕易由頻譜(FFT)比較看出結果。

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