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半自動晶圓量測機 - 東洋技術股份有限公司

半自動晶圓量測機. (AT-S300系列). 特性. 條碼載入量測程式功能。 ... 可多波長光譜儀配置一機多用。 ... 粗糙度量測精度與重複性, Ra less than 20nm(+/-0.5nm);

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